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食品加工廠選用臭氧殺菌消毒的場地也許多，如臭氧對車間氣體消毒、對食品類表層的殺菌功效、對食品袋原材料的消毒、對食品類的冷藏功效、對食品中的病菌，病毒感染，有毒物質的溶解這些。大腸埃希菌等微生物菌種的生長發育，日本已經用以醬制品、生鮮食品海鮮產品的包裝。
食品加工車間的運用,在食品加工車間選用的是將臭氧立即釋放出來到空氣中的方式，使全部室內空間及該室內空間中物件的周邊充斥著臭氧汽體，在臭氧強化學作用下，做到消毒殺菌的目地。在加工車間應用臭氧的一個關鍵難題是明確逐漸提供殺菌的目地。在加工車間應用時加工車間內的病菌處在最少情況。一般可供車間臭氧兩小時，封閉式溶解兩小時，那麼在職工工作前4鐘頭給加工車間提供臭氧消毒好，那樣即做到殺菌、消毒的實際效果，又使工作的職工嗅不上顯著的臭氧味。若因必須非要在有些人的自然環境下開展消毒工藝流程時，則應在車間的部分密封性房間內開展，不可使臭氧泄露到車間的其他位置，不然當車間的臭氧超出濃度值時，對人身安全不好，非常容易對人會的呼吸系統造成不良影響。